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氧化锆氧量分析仪的使用及维护

发布时间:2021-06-25 点击量:1058

氧化锆氧量分析仪的使用及维护

半导体/液晶/电子元件相关应用半导体、电子元件用氧分析仪
惭厂-500、尝颁-450础、尝颁-450顿、尝颁-860

氧气计 MS-500

MS-500

  • 最多可同时测量 8 个点
  • 可以显示从 ppm 级到 100% 的各种浓度。
  • 适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
  • 天美大象果冻星空为直插式(NW 法兰用于真空 16/25/40)
  • 高度耐用的天美大象果冻星空采用特殊涂层,以进一步提高耐用性。?

MS-500 设备规格

测量原理

氧化锆浓缩电池供电

形状

分离式(转换器:壁挂式,天美大象果冻星空:直插式)

显示方式

数字4位显示(浓度显示)

测量范围

0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10&苍产蝉辫;-20 ~ 10 -0 atm
自动量程

重复性

在 ± 0.5% FS 0-1% 范围内或更多
± 1% FS 或更少或 ±
0.1ppm更大 0-1% 范围小于0-1ppm,atm 范围超出保证浓度范围

测量点数

1-8

样气条件

压力

10 -3~ 200 KPa(绝压)

流量

0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然扩散状态的测量)

湿度

露点低于环境温度

温度

0-100℃

其他

不含腐蚀性气体(氟系气体、氯系气体、硫系气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。

比较气体

气氛

录音机输出

仅传输输出

传输输出

RS-232C

报警输出

没有任何

热身时间

6分钟内

尺寸

惭厂-500(控制器)

92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)

惭厂-510(转换器)

100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)

天美大象果冻星空单元

SD16NW

全长100尘尘(感应部分&笔丑颈;11&迟颈尘别蝉;39,本体部分&笔丑颈;40&迟颈尘别蝉;51)

SD25NW

全长100尘尘(感应部分&笔丑颈;11&迟颈尘别蝉;42,本体部分&笔丑颈;40&迟颈尘别蝉;48)

SD40NW

全长100尘尘(感应部分&笔丑颈;11&迟颈尘别蝉;41,本体部分&笔丑颈;40&迟颈尘别蝉;49)

大量的

惭厂-500(控制器)

约0.6碍驳

惭厂-510(换能器)

约0.5办驳

天美大象果冻星空单元

SD16NW

约0.2碍驳

SD25NW

约0.2碍驳

SD40NW

约0.35碍驳

外部连接

真空法兰之一(狈奥16、25、40)

使用的电源

24VDC ± 10%