小孔圆度测量分析案例
这是将前端直径为 φ0.5 mm 的球测针 (SA-166) 插入内径为 φ0.7 mm 的管状工件中进行圆度测量的&苍产蝉辫;结果。
通过使用 SA-158，可以测量φ0.5&苍产蝉辫;mm的内径。
| 最小测量孔径 | φ10微米词 |
|---|---|
| 最大测量长度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 测量分辨率 | 10nm |
| 测量功率 | 0.1 μN或更小 |
| 运动轴 st. (X, Y, Z) | 50 x 50 x 52 毫米 |
| 最大样本量 | φ160mm t = 50mm |
| 最小测量孔径 | φ10微米词 |
|---|---|
| 最大测量长度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 测量分辨率 | 10nm |
| 测量功率 | 0.1 μN或更小 |
| 运动轴 st. (X, Y, Z) | 305 x 370 x 52 毫米 |
| 最大样本量 | φ300mm t = 50mm |
