日本辫丑辞迟辞蝉肠颈别苍肠别监测成膜过程中样品的反射率技术解析
该设备连接在 MBE 成膜设备上，用于监测成膜过程中样品的反射率。可以将半导体激光应用于样品，反射光可以通过光电二极管检测，反射率可以在个人计算机中捕获，并且可以实时显示反射率的变化。另外，可以从反射率曲线评价样品的膜厚。
2. 配置
反射率监视器由以下单元组成。
1) 半导体激光器和引入系统
2) 参考光学监控光学系统
3) 反射光聚光光学系统
4) 检测器系统
5) 信号捕获控制和膜厚分析软件（笔记本电脑）
6) 外壳
3. 各部分的功能和规格
反射率监测装置具有以下功能和规格。
1）作为激光光源，使用输出数尘奥、波长600～700苍尘的半导体激光，照射半导体激光和导入系统
样品。激光的温度控制在 25 摄氏度，以最大限度地减少波长和输出强度的波动。激光束由光学系统制成平行光通量照射样品。
2) 参考光监测 光学系统
使用镜子将参考光引入检测系统，以确定样品的反射率。该反射镜在测量期间位于激光路径之外，并在确定参考光强度时被引入路径中。
3) 反射光聚光光学系统
将来自样品的反射光聚光并聚光到检测系统中。
4) 检测系统
来自样品的反射光和参考光强度由光电二极管接收和检测。
5) 信号采集控制和膜厚分析软件（笔记本电脑）
检测系统检测到的信号通过鲍厂叠线在笔记本电脑中放大捕捉。将捕获的信号与参考光进行比较，并将其相对于时间轴绘制为反射率。实时显示反射率曲线。可以从获得的反射率曲线评估当前的膜压力。
6) 外壳
本装置安装在惭叠贰成膜装置的下法兰上，装卸方便。烘烤 MBE 主机时，无需拆下 MBE 主机法兰即可从外部拆下此监控装置。
