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适用于小样品检测的3顿表面形状测量系统介绍

它是一个使用白光干涉技术的系统，可以非接触测量包括台阶和粗糙度在内的叁维形状。

Profilm 3D 适用于测量小样本，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产物更紧凑、更便宜。
多种测量模式，包括垂直扫描干涉法 (WLI)，适合微米级台阶和形状的高精度测量，相移干涉法 (PSI)，适合测量纳米级形状和粗糙度。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜、自动载物台以及便于操作和分析和管理测量数据的软件。

主要用途

件。