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适用于小样品检测的3顿表面形状测量系统介绍

发布时间:2022-04-08 点击量:597

适用于小样品检测的3顿表面形状测量系统介绍

它是一个使用白光干涉技术的系统,可以非接触测量包括台阶和粗糙度在内的叁维形状。

Profilm 3D 适用于测量小样本,涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能,并且比传统产物更紧凑、更便宜。
多种测量模式,包括垂直扫描干涉法 (WLI),适合微米级台阶和形状的高精度测量,相移干涉法 (PSI),适合测量纳米级形状和粗糙度。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备,包括用于放大物镜、自动载物台以及便于操作和分析和管理测量数据的软件。

主要特点

  • 低价!
    在配备所有必要功能的同时实现低价

  • 纳米量级
    的高分辨率 采用相移干涉法实现高分辨率

  • 全标准设备
    齿驰自动载物台、手动左轮、自动光强调节、自动对焦功能

  • 紧凑型外壳
    主体占地面积为 30 x 30 厘米的紧凑型设计。

  • 配备 WLI 和 PSI 两种测量模式
    一个装置同时测量步距测量和粗糙度测量

  • 操作
    简单 基本操作只需简单的鼠标操作

  • 符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
    国际标准 ISO25178

  • 扩展
    性 多种物镜选择、数据拼接功能

主要用途

半导体晶圆凸块、颁惭笔焊盘等
医疗领域注射针、人工关节、支架等
安装板铜线、凸块、透镜等



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