日本ata Gimble 多涂机 AT-903涂层示例分析
涂层示例
◆ 万向节效果
在万向机操作下，在凹凸不平的样品表面涂上一层均匀的薄膜
（见下图，滤纸表面厂贰惭照片）。
放大倍率 x 50,000 倍
云台运动视频
◆ 与其他公司的颗粒性能比较（样品：载玻片放大倍数：×100,000）
（其他公司）
(ATA)
◆ 涂膜颗粒度差异示例（AFM 图像）
膜厚 10nm 玻璃基板镀铬膜
膜厚 9nm 玻璃基板上的铂膜
可以看出，颁谤非晶膜和铂再结晶膜形成良好。
头型（可选）
1头型
2头型
清洁（可选）
清洁机制
特征
全向摆动（万向运动）载物台使涂层具有良好的环绕性。
*干燥的排气可防止样品污染（涡轮分子泵+隔膜泵）
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、W 等。目标类型可以是used
特殊的快门功能可抑制对样品的热损伤。
可以选择 1 或 2 头的数量。
&濒迟;选项&驳迟;
等离子清洗（主机选件）可去除有机异物并进行表面亲水化处理，
碳涂层附件（选件）可用于形成碳膜（目前正在建设中）。
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