磊晶处理后的滑线检查技术
即时显示所有表面状态。
光学系统对应等级1。
光学系统无须维护。
根据检测内容,可修正检测灵敏度。
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检测尺寸 | 从φ100尘尘至φ300尘尘 |
检测内容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
检测倍率 | 1x / 3x 模式可切换(标准设备) |
检测灵敏度 | 检测灵敏度可连续调整 |
使用光源 | 550苍尘 (固定照度之稳定光源) |
镜头 | 高解析度颁颁顿镜头 |
平台 | 手动平台(标准设备) |
镜面晶圆的表面检测 |
滑线检测 |
玻璃基板检测 |
其他镜面基板检测 |
电动马达检测平移台 |
自动判定缺陷影像处理装置 |
影像列印机 |