磊晶处理后的滑线检查技术
即时显示所有表面状态。
光学系统对应等级１。
光学系统无须维护。
根据检测内容，可修正检测灵敏度。
询问此产物的型录
| 检测尺寸 | 从φ100尘尘至φ300尘尘 |
| 检测内容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 检测倍率 | 1x / 3x 模式可切换（标准设备） |
| 检测灵敏度 | 检测灵敏度可连续调整 |
| 使用光源 | 550苍尘 （固定照度之稳定光源） |
| 镜头 | 高解析度颁颁顿镜头 |
| 平台 | 手动平台（标准设备） |
| 镜面晶圆的表面检测 |
| 滑线检测 |
| 玻璃基板检测 |
| 其他镜面基板检测 |
| 电动马达检测平移台 |
| 自动判定缺陷影像处理装置 |
| 影像列印机 |
