日本红外光的非接触式厚度测量技术的特点
红外线穿过特定的物质。
它是一种利用该特性以非接触方式测量特定物质厚度的技术。
由于电子设备中使用的硅、蓝宝石、石英和其他化合物的表面经过高精度抛光,因此不能使用接触式厚度测量,因为它会划伤表面。
此外,由于材料变形,无法通过接触式准确测量橡胶、薄膜、软树脂等的厚度。
激光和电容是以非接触方式测量厚度的常用方法,但它们是位移计,不能测量绝对值。绝对值可以通过我们的红外光法测量。
红外光测厚原理
当红外光投射到工件上时,它首先在表面上反射。
此外,红外光通过工件内部并在背面反射。
表面反射光和背面反射光被光学探头接收,利用前后表面反射光的时间差作为光干涉差来测量厚度。
可以在多层中进行单独的厚度测量
从这个原理来看,在如上图所示的多层工件的情况下,可以从每个反射光的干涉差来测量单个厚度。
以上是笔颁上显示反射光干涉状态的界面。
从波形的左边看,它变成了搁1到搁4的干扰波。每个干涉差(Peak to Peak)是每一层的厚度。
绝对值测量的优点
《相对值的测量》
位移天美大象果冻星空是一种相对值测量,将距离差作为厚度测量。因此,有必要准备一个参考平面(零点)。
此外,如果到参考平面的距离 (Gs) 并不总是恒定的,则会出现错误。如果不能保持或随时间变化,则必须为每次测量重新设置零点。
<< 绝对值测量 >>
由于红外光的测量是通过从正面和背面反射光的干涉差异获得的,因此只需将工件放在天美大象果冻星空头下方即可测量厚度的绝对值。
即使到工件的距离(骋补)有轻微波动,如果范围小于最大测量厚度(约4毫米)-工件厚度(迟),测量值和精度也不会受到影响。
华侨城纳米
☆ 如果是允许红外光通过的物质,可以在不使材料变形的情况下测量厚度。
☆ 可测量厚度绝对值
☆ 可进行多层测量
☆ 测量距离可任意设置,最大可达1000mm左右,可保持0.1μm的测量精度。