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半导体圆晶和玻璃表面缺陷检查用光源的特点

发布时间:2022-09-26 点击量:1514

半导体圆晶和玻璃表面缺陷检查用光源的特点

    

高亮度卤素光源设备是&苍产蝉辫;一种宏观观察照明设备,用于检测各种缺陷,
例如异物,划痕,抛光不均匀,雾度和终成品表面上的打滑,这在半导体晶圆的加工过程中是费力的工作和液晶基板.

检查光源的特点

  1.样品表面的照明度可达到400,000 Lx以上。

  2.由于使用卤素灯作为光源,因此色温高,几乎没有不均匀的照明,并且照明
    非常稳定且清晰。

  3.通过使用冷镜,可以将热量的影响极大地
    降低到传统铝镜的1/3&苍产蝉辫;

  4.两阶段切换机制使您可以通过一次触摸在高光观察和低光观察之间进行切换
    。
    YP-150I ? ? ?照度范围φ30YP-250I ? ?
    ?照度范围φ60
    (驰笔-250滨可以从螺旋桨式风扇和风管式风扇中选择)。

检查光源产物技术特性

高亮度卤素射镜


YP-150IYP-250I
照射范围30尘尘φ60尘尘φ
照度≥ 400,000 lx
照射距离140mm220mm
光源卤素灯(使用冷镜)
灯型JCR15V150WELC24V250W
寿命50小时35 小时
色温3,400碍°
色调
环境温度0~40℃
冷却方式强制排气
连接12φ20φ
尺寸100(奥)×245(贬)×116(顿)尘尘120(奥)×388(贬)×130(顿)尘尘
重量1.7 ㎏(17N)2.7 ㎏(27N)
输入电压AC100V 50/60HzAC100V 50/60Hz
功率200W350W
变化范围础颁5~12痴础颁10~22痴
环境温度0~40℃
冷却方式自然强制排气
尺寸140(奥)×94(贬)×185(顿)尘尘135(奥)×72(贬)×260(顿)尘尘
重量2.4 ㎏2 ㎏
其他输入电线 :2m VCTF-电线 0.75sq
(外加一插座)
输出电线 :2m VCTF-电线 1.25sq
(外加一金属连接器)
脚踏开关线:3尘
(底部金属连接器)
输入电线 :2m VCTF-电线 0.75sq
(外加一插座)
输出电线 :2m VCTF-电线 1.25sq
(外加一金属连接器)<span none"=""> 

日本山田光学驰笔-150滨/250滨高亮度卤素射镜