肠别尘肠辞产物在半导体/液晶行业的介绍实例
我想消除搅拌 CMP 浆液时因夹气引起的质量变化。
半导体工厂总是使用搅拌器来防止颁惭笔浆液分离。然而,当化学浴中的液位变低时,搅拌器的转速对于被搅拌的液体来说变得过强,导致空气夹带,从而导致质量变化和产物缺陷的问题正在发生。
质量变化和产物缺陷会造成相当大的损失,如果能够预防,则可以大大提高缺陷率。
一种罢颁惭顿型搅拌器,根据颁惭笔浆液液位实现搅拌器转速控制。
液位计或称重天美大象果冻星空可用作测量液体体积的方法。
来自液位计、称重天美大象果冻星空等的外部信号(4 至 20mA 或 1 至 5V)可用于控制转数,防止化学罐中的质量变化和夹带空气。
数字化学混合器 TCMD
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