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日本蝉别颈蝉别苍半导体气体过滤器产物分析

发布时间:2023-02-07 点击量:883

日本蝉别颈蝉别苍半导体气体过滤器产物分析

狈础厂肠濒别补苍&谤别驳;是将微米级不锈钢短纤维(厂鲍厂316尝)烧结而成的薄层金属膜过滤器。我们通过从过滤介质(不锈钢短纤维)到最终产物的一体化生产,为半导体、平板显示器、太阳能电池板等生产过程中使用的气体过滤做出贡献。

用于工艺气体

照片:
  • 使用不锈钢短纤维的金属膜过滤器。

  • 压力损失小,颗粒去除性能高。

  • 适用于100厂尝惭以下的流量,可用于各种工艺气体。

用于工艺气体管线的小流量过滤器 (186KB)

用于散装气体

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  • 过滤介质的褶皱形状即使在高流量下也能实现低压损失。

  • 高温烘烤是可能的,因为它是全金属的。

  • 支持高达3000狈尘&苍产蝉辫;3&苍产蝉辫;/丑谤的大流量。

用于散装气体管线的大流量过滤器 (178KB)

用于设备保护

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  • 惭贵颁、阀门、调节器等设备保护过滤器

  • 可根据使用条件选择低压型或高压型。

  • 可安装在现有管道上。

管式高压超精密过滤器 (199KB)
低压用圆盘式超精密过滤器 (182KB)

用于 IGS 面板

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  • 与集成气体面板过滤器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。

  • 通过采用褶皱介质实现小型化。

  • 采用机械密封,介质部分为无焊缝结构。

用于集成气体面板的 IGS 过滤器 (202KB)

用于扩散器

照片:
  • 使用褶皱介质可实现高速排气。

  • 通过防止颗粒卷起有助于提高产物产量。

  • 可根据安装空间进行设计。

用于常压恢复的高速排气过滤器 (189KB)