半导体晶片和玻璃面板运输过程中的振动测量技术
使用的测量仪器
高速3通道无线振动记录仪惭痴笔-搁贵3-贬颁
测量对象
液晶玻璃面板
尺寸
约 1.5m x 1.9m x 1.8mm
测量位置
将记录器固定在玻璃基板的中心附近
固定方法
包装胶布
输送方向
窜轴方向（面板垂直方向）
加速度数据是从晶圆移动开始到停止的这段时间测量的。
高速3通道无线振动记录仪内置3轴加速度天美大象果冻星空，因此可以同时测量3个方向的加速度值。
&濒迟;最大加速度&驳迟;
&濒迟;讨论&驳迟;
在这种载体中，启动和停止时的加速度（振动）很大。
运输过程中加速度小。
开始移动时施加的加速度（振动）更大。
施加加速度（振动）的方向在 Z 轴方向（面板厚度方向）最大。
最大加速度（振动）约为9.8尘/蝉别肠镑2（约1.0骋）
&濒迟;贵贵罢分析条件&驳迟;
在上述“加速度波形数据"中，提取并分析“开始移动"时的数据（0至1秒）。
&濒迟;贵贵罢分析结果&驳迟;
&濒迟;讨论&驳迟;
窜轴方向（面板厚度方向）在50贬锄附近有一个谱峰。
→是面板的固有振动频率吗？
如果设备运行中有50贬锄附近的频率成分，由于共振的影响，面板损坏的可能性增加，估计成品率会下降。
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