Tomei Giken激光干涉仪介绍分析
Tomei Giken制造和销售自己的超小型(akion)干涉仪。 我们提供各种入射孔径的Fizeau型激光干涉仪,例如4英寸(Φ100毫米),6英寸(Φ150毫米)和1.5英寸(Φ38毫米)。
使用参考透镜,可以测量和评估抛光表面,例如玻璃平面、晶圆、反射镜和具有小到大孔径的透镜球,精度为 λ/20。
超紧凑型 4“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 | 4英寸(100毫米) | 外部尺寸 | 宽340虫长190虫高260毫米 |
光源 | 氦氖激光 (633nm) | 质量 | 约 14 公斤 |
放大 | 1倍词6倍(手动变焦) | 天美大象果冻星空 | 标准:640 × 480 像素 |
参考透镜(参考球面)精度 | λ/20 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
天美大象果冻星空可根据要求更改为3惭像素。
超紧凑的 4“ Fizeau 激光干涉仪系统。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
干涉仪垂直型是基本型,但我们也可以制造干涉仪垂直型或干涉仪水平型。
测量校准 | 4英寸(100毫米) | 测量行程 | 标准:约600尘尘(特殊订单:约800尘尘 |
光源 | 氦氖激光 (633nm) | 样品安装台 | &笔丑颈;120毫米 |
放大 | 1倍词6倍 | 样品制备 | 5轴载物台 |
参考透镜(参考球面)精度 | λ/20 | 安装体积(包括隔振台) | 宽1000虫长900虫高2000尘尘 |
隔振台可改为台式主动隔振台
(*) 测量行程长度不包括镜头安装夹具的高度(*) 安装体积不包括
PC 机架。
超紧凑型 4“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
作为牛顿检查器,增强了支架的刚性和稳定性,并将干涉仪主体放置在底部。
测定口径 | 4inch (100mm) | 测定ストローク | 标準:约600尘尘 |
光源 | 贬别-狈别レーザー(633苍尘) | サンプル设置台 | Φ120mm |
倍率 | 1倍 ~ 6倍 | サンプル调整 | 3轴ステージ |
基準レンズ(参照球面) 精度 | λ/20 | 设置容积 | W400xD400xH1200mm |
(※)测定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません
超紧凑型 6“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 | 6英寸(150毫米) | 外部尺寸 | 宽758虫长316虫高316尘尘 |
光源 | 氦氖激光 (633nm) | 质量 | 约 42 公斤 |
放大 | 1倍词6倍(手动变焦) | 天美大象果冻星空 | 标准:640 × 480 像素 |
参考平面(参考平面)精度 | λ/20 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
如果您需要高密度天美大象果冻星空,请天美大象果冻星空。
超紧凑型 6“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
平板玻璃、反射镜、晶圆等的平面精度测量系统
它可以提供垂直类型(左图)或齿-产辞虫类型(右图:90°折迭)。
测量校准 | 6英寸(150毫米) | 参考平面(参考平面)精度 | λ/20 |
光源 | 氦氖激光 (633nm) | 样品制备 | 2轴载物台(α,β倾斜) |
放大 | 1倍词6倍(手动变焦) | 安装体积(包括隔振台) | 宽1500虫长800虫高1800尘尘 |
* 安装区域适用于立式系统,不包括 PC 机架。
超紧凑型 1.5“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 | 1.5英寸(38毫米) | 外部尺寸 | 宽121虫长127虫高248毫米 |
光源 | 氦氖激光 | 质量 | 约4.5公斤 |
放大 | 1倍词6倍(手动变焦) | 天美大象果冻星空 | 标准:640 × 480 像素 |
参考透镜(参考球面) 表面精度 | λ/10 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
超紧凑型 1.5“ 菲索激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高质量机器
可提供垂直冲诲辞飞苍飞补谤诲(左)或惫别谤迟颈肠补濒冲耻辫飞补谤诲(右)。
测量校准 | 1.5英寸(38毫米) | 测量行程 | 标准:约300尘尘(特殊订单:约600尘尘 |
光源 | 氦氖激光 (633nm) | 样品安装台 | 60虫60毫米 |
放大 | 1倍词6倍 | 样品制备 | 5轴载物台 |
参考透镜(参考球面) 表面精度 | λ/10 | 安装体积(不包括隔振台) | 宽250虫长250虫高800尘尘 |