用于真空的准分子紫外线系统介绍
2、大量产生激发态氧原子
易于安装到带 ICF114 法兰的真空室视口。
通过使用风冷准分子灯的简单系统结构，实现了低成本和高性能。 可以瞬时打开和关闭。
真空室等静电问题的对策
卷对卷薄膜抗静电
晶圆等静电卡盘的吸附和运输措施
防止因电气化而吸附异物的对策
电子显微镜的静电对策
通过带电实现均匀的薄膜厚度，防止针孔
| 波长 | 172 纳米 |
| 真空法兰端口 | ICF114 （兼容JIS法兰） |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 功能 | 灯亮起、熄灭 |
| 光源尺寸 | 宽 300 x 高 157 x 深 180 mm |
| 电源尺寸 | 宽 250 x 高 133 x 深 200 mm |
| 权力 | AC100V 50/60Hz 2A 带接地端子 |
| 气 | N2 |
| 电缆长度（灯词电源） | 0，5 米 |
| 环境规格 | 温度15-30°颁，湿度20-80%，无冷凝、腐蚀、振动的环境条件。 |
