苍-蝉别颈蝉别苍半导体气体过滤器介绍
NASclean®是由微米级不锈钢短纤维（SUS316L）烧结而成的薄层金属膜过滤器。 通过从过滤介质（不锈钢短纤维）到最终产物的一体化生产，我们为半导体、平板显示器、太阳能电池板等生产过程中使用的气体的过滤做出贡献。
这是世界上使用不锈钢短纤维的金属膜过滤器。
低压降和高颗粒性能。
适用于100 SLM或更低的流量，可用于各种工艺气体。
过滤介质的褶皱形状即使在高流速下也能实现低压降。
高温烘烤是可能的，因为它是全金属的。
3000牛米3支持高达 /hr 的高流速。
用于保护 MFC、阀门、调节器和其他设备的过滤器。
根据使用条件，可以选择低压型和高压型。
可与现有管道一起安装。
集成气体面板过滤器，兼容 1.125W 密封、1.125C 密封和 1.5W 密封。
通过采用褶皱介质实现紧凑的尺寸。
机械密封用于在介质部分创建无焊接结构。
褶皱介质可实现高速排气。
防止颗粒缠绕，有助于提高产物产量。
可根据安装空间进行设计。
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