| 1. 洁净室灯迷你N使用示例 |
（1）检查
风淋室内部 当我用洁净室
灯Mini N检查
风淋室的内部时，有堆积的垃圾。 | 
（2）清洁后检查
地板 如果您在清洁前后用Mini N检查
洁净室，则可以了解
清洁的重要性
。 | 
（3）
确认气流 可以使用气流可视化设备“迷雾
梦"一起
检查
正压和负压！ |
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（4）检查
无法到达的天花板如果您使用无法到达的天花板选项，则可以看到
灰尘！
在天花板上的灰尘落下之前采取措施！
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（5）
检查难以看到的缝隙 缝
隙不可见的地方往往是灰尘的
温床。
让我们使用迷你狈清洁！ | 
（6）用于
检查隐形划痕
迷你狈不仅
检查灰尘和灰尘，还可以带出看不见的
划痕！ |
2.与其他公司的小灯比较
~晶圆上的灰尘能看到多远？ ~
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我们在相同条件下比较了洁净室灯迷你狈和其他公司的小型灯。
如上图所示，您可以看到洁净室灯迷你狈压倒性地显示异物。
由于它以相同的角度照射，因此您可以看到洁净室灯迷你狈的光强度有影响。
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我们能看到多远的晶圆上的灰尘？ 用粗粒子计数器验证！ ！！
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它被光照亮，但我很好奇它能被看到多远。
因此，我们用粗粒子计数器“搁础颁颁础搁"测量了上述晶圆。
结果，发现可以看到小于30μm的灰尘！ ！！
搁础颁颁础搁可以对30μ尘或更大的异物进行分类。
看上表，我们可以看到有30种大于34μ尘的异物。
与实际的晶圆图像相比，测量值似乎很小，因为可以看到小于30μ尘的异物。
由此，您可以了解到，如果条件良好，
可以使用洁净室灯迷你狈确认小于30μ尘的异物。 |
