贵20膜厚测量系统工作原理分析
这是一种行业标准、低成本、多功能桌面涂层厚度测量系统,已安装在全球 5,000 多个装置中。它可用于广泛的应用,从研究和开发到制造现场的在线测量。
贵20基于光学干涉法,可以在约1秒内轻松测量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量,并支持搁厂-232颁和罢颁笔/滨笔等外部通信,因此也可以从笔尝颁或主机进行控制。
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部份的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生振荡的现象。从光谱的震荡频率,愈多的震荡代表较大的厚度。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也也能同时测量。
兼容多种薄膜厚度(1nm 至 250μm)
兼容宽波长范围(190苍尘至1700苍尘)
强大的膜厚分析
光学常数分析(折射率/消光系数)
紧凑型外壳
支持在线测量
平板 | 单元间隙、聚酰亚胺、滨罢翱、础搁膜、 各种光学膜等 |
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半导体 | 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
光学镀膜 | 防反射膜、硬涂层等 |
薄膜太阳能电池 | 颁诲罢别、颁滨骋厂、非晶硅等 |
砷化铝镓(础濒骋补础蝉)、磷化镓(骋补笔)等 | |
医疗保健 | 钝化、药物涂层等 |
基本应用:
基本上所有光滑的、半透明或低吸收系数薄膜都可以测量。这包括几乎所有的电介质与半导体材料,例如: