半导体清洗设备在线使用的贰颁狈型化学液体加热器介绍
用于半导体化学清洗设备的在线使用
贰颁狈型化学液体加热加热器
高纯度制成
● 所有接液部件均采用 PFA
● 无杂质洗脱
● 使用低温加热器时化学品不会变质
● 即使使用碱性化学品也不会变质
可靠性
● 最大工作压力:0.4MPa
● 最高工作温度:标准产物为80℃,特殊规格可生产至120℃。
● 内置过热报警天美大象果冻星空。
● 停电等突然关机时,温升约10℃
。高温下安全使用
● 内置漏水天美大象果冻星空
● 耐流量波动和冲击
维护方便
● 采用低温加热器,因此使用寿命为半性,无需更换加热器
● 非常紧凑,易于安装安装
● 电气控制 有效利用现有设施