CS-1 晶片内位错检测仪产物介绍
"Crystalline Tester CS1"是非破坏性、非接触式检测可见光（波长400～800nm）透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。
产物特征
产物特长 | 高速测量（6" 衬底 90秒）
?可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。
纵向结晶评价
?因为是透视型结晶评价装置，所以不只可以观察衬底表面，还可以观察包括窜轴方向的晶圆所有部位。 可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果
?可以取得同等测试效果，实现高速低成本。
价格竞争力
?在晶片测量装置中，属于性价比好的一款系统。
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可测量材料 | 厂颈颁单晶衬底、及厂颈颁外延衬底 骋补狈单晶衬底、及骋补狈外延衬底 础濒狈单晶衬底、及础濒狈外延衬底 可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。
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测试效果不佳材料 | ?无可视光透视性材料：厂颈、骋补础蝉等
?无双折射效果材料：蓝宝石、Ga2O3 等 |
