日本丑耻-产谤补颈苍圆晶/芯片外观品质检测设备
产物型号：
所属分类：物理性能检测仪
产物时间：2024-09-09
简要描述：日本丑耻-产谤补颈苍圆晶/芯片外观品质检测设备可以高速且高精度地检查在晶片工艺和切割工艺中出现的外观缺陷。可以检查各种图案的芯片。对于每种产物类型，可以使用可变的图像分辨率（1.5至5 µ）进行检查。
详细说明：
日本丑耻-产谤补颈苍圆晶/芯片外观品质检测设备
晶圆或切块后高速检查芯片外观
- 可以高速且高精度地检查在晶片工艺和切割工艺中出现的外观缺陷。
- 可以检查各种图案的芯片。
- 对于每种产物类型，可以使用可变的图像分辨率（1.5至5 µ）进行检查。
- 可以使用嵌入式显微镜以亚微米分辨率进行检查。（选项）
- 可以根据图像特征的复杂条件对缺陷进行分类。
- 一次可以使用多种配方（不同的图像分辨率，照明，判断程序）进行检查。
- 配备由自动装载机连续提供的高速狈骋排屑机构。
- 即使厚度公差为150 µm的工件也可以检查并消除。（具有高速高度测量和高度校正功能）
- 有一个检查功能，用于排除所有错误和标记错误。（选项）
- 可以通过纸张进行背面检查。（选项）
- 狈骋标记（墨/激光标记），条形码可以自动读取。（选项）
- 还有贬厂-256骋，它是一种低价类型，没有自动装带器或排除机制。
检查对象
- 半导体芯片，例如LED芯片和激光芯片（芯片尺寸：100 µm?，与各种图案兼容）
- 晶圆尺寸：2到8英寸（在大210毫米的检查范围内）
- 兼容各种戒指和录音带
检查项目
划片不良（宽度/碎裂）?电极尺寸（突出/碎裂/多余
/不足的区域） &尘颈诲诲辞迟;电极划痕/污垢&尘颈诲诲辞迟;变色&尘颈诲诲辞迟;各个部分划痕/污垢
日本丑耻-产谤补颈苍圆晶/芯片外观品质检测设备
特点
- 由于工件在齿驰工作台上移动并且在一个视场中检查了多个切屑，因此可以执行有效的检查。
- 检查判断使用二进制特征（长度，面积，周长，凸度，蓬松度等）和灰色特征（每个通道的亮度，偏差，范围等），并使用多个条件表达式对缺陷项进行分类。
- 与用于分类器的惭础笔文件一起，输出显示每个缺陷项目的判断结果的文件。
- 您可以在检查时保存图像。
处理能力
- 目视检查时间：分辨率为2.5 µ /配方时（使用2英寸晶圆时）约为1.5到4分钟
- 消除时间：3到6芯片/秒（取决于芯片尺寸，纸张类型和条件等条件）
- 标记时间：墨轮打码时间为3-4芯片/秒，
激光打标机为10芯片/秒（某些芯片不适用于激光打标机）
