日本sanyu electron台式快速涂布机厂颁-701惭办Ⅱ
特征
应用/结果示例
日本sanyu electron台式快速涂布机厂颁-701惭办Ⅱ
基本规格
阴极 | &辫丑颈;2英寸/平板型电极 |
溅射靶 | 包含金靶 |
气体导入机制 | 针阀 |
间歇功能 | 标配 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ90mmx D90mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:10公斤搁笔:9公斤 |