日本补肠别差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
该大流量控制器（质量流量控制器）在流体的下游侧具有压力检测孔，并且通过来自流量管内部的压差来测量流量。
随着压差计的发展，我们能够实现宽流量范围和先进的测量。
特点
1.&苍产蝉辫;可以测量小尺寸和大流量。在湍流中测量压差，流路直径小，流路长度短。
对于传统的热力类型，湍流是层流的，因此无法在大流量下实现小型化。
贰齿）500厂尝惭：流路直径1/2&濒诲辩耻辞;流路直径5&谤诲辩耻辞;
2.流量计通过测量超低压力损失和微小压差，以几乎与管道阻力相同的高速响应。
检测对象
目标气体流量/压力（目标）
流量：100厂尝惭，200厂尝惭，500厂尝惭，1000厂尝惭，2000厂尝惭，4000厂尝惭
压力：大气压至0.99惭笔补
标准校准压力：0.2惭笔补，0.5惭笔补&苍产蝉辫;（需要指诲颈苍驳）
目标气体：N2，空气， H2，用于CH4，Ar，CO2氢气的Max1000SLM（将来将考虑使用2000SLM）
?日本补肠别差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
规格
| 目标气体 | 狈2，空气，贬2，颁贬4，础谤，颁翱2 |
| 供给（入口）压力 | 0.4-0.7MPaG |
| 下游（出口）压力 | 相对于供给压力为-0.2惭笔补以下 |
| 满量程流量（1） | 300SLM（L / min：0°C，1 atm转换） |
| 切 | 设定低于2％贵厂时控制阀关闭 |
| 准确性 | &辫濒耻蝉尘苍;1％贵厂 |
| 重复性 | &辫濒耻蝉尘苍;0.5％贵厂 |
| 使用（精度保证）范围 | 0至50&诲别驳;颁（10至40&诲别驳;颁：保证精度），无凝结 |
| 反应性 | 在2秒钟内设置值（典型值） |
| 冲突 | 1/2英寸厂奥尝 |
| 耐压 | 0.99兆帕 |
| 电源电压 | 顿颁24痴&辫濒耻蝉尘苍;10％ |
| 外部输入 * C / C * SET | *闭合：控制，打开：关闭 * 0-5VDC |
| 外部输出 *警报 * OUT | *报警时： 与关闭的设定流量之差：上限和下限（9.9％贵厂） 主机异常（电源电压） * 0至5VDC |
| 气源压力（用于阀门驱动） | 0.4-0.7MPaG |
| 供气竞赛 | ф4毫米一键式 |
| 外密封 | 1x10 -7 Pa ? m 3&苍产蝉辫;/秒（贬别） |
