日本耻惫-补蝉耻尘颈研发用扫描型准分子辐照装置
扫描阶段可以处理比以前更大的区域。
配备臭氧分解装置，无需排气设备。
日本耻惫-补蝉耻尘颈研发用扫描型准分子辐照装置
| 研发用扫描型准分子辐照装置 | |
| 模型 | 础厂惭86准分子 |
|---|---|
| 发射波长 | 172nm |
| 待处理对象 | W86mm x D120mm 以下，厚度 40mm 以下 |
| 照射距离调整 | 带有用于调节的实验室千斤顶（可变照射距离从 0 到 40 mm） |
| 外形尺寸 | 机身：(W) 432 mm x (D) 510 mm x (H) 520.5 mm（不包括突出部分） |
| 大约重量 | 约 25 kg（主体 20 kg，照射单元 4.8 kg） |
| 机身材质 | SUS304 / A5052P / SPCC |
| 辐照单元 | |
| 灯具制造商 | 滨松光电株式会社制造 |
| 模型 | 平面准分子 EX-86U L13129 |
| 辐照强度 | 65mW/cm2 |
| 照射面尺寸 | 推荐 86mm x 40mm 准分子有效照射距离 5mm 以内 |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 运输科 | |
| 表材 | 础5052笔（带对齐狭缝） |
| 遮光罩 | PVC(UV ｃｕｔ黄色) |
| 处理速度 | 0.1尘尘/秒-120尘尘/秒 |
| 加工活动范围 | 240mm |
| 其他 | |
| 触控面板 | 4英寸单色触摸屏 |
| 食谱数量 | 20个配方（加工速度和照射时间可设置） |
| 监控功能 | 具有当前速度/当前位置/剩余时间显示功能 |
| 臭氧排气设备 | 内置臭氧催化剂（强制风扇排气） |
| 公用事业 | AC100V 50 / 60Hz 400VA |
