日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60 F60自动测绘膜厚测量系统是F50的高duan机型，具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。 只需将样品放在载物台上，然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。
日本filmetrics自动膜厚测量系统F50 F50自动测绘膜厚测量系统是将基于光学干涉原理的膜厚测量功能与自动高速载物台相结合的系统。 以过去无法想象的速度测量点的膜厚和折射率。它支持从2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何测量点。
日本filmetrics台式膜厚测量系统F3-CS F3-CS是测量小样品的最佳测量系统。与测量台集成的测量系统使其易于携带。 只需将样品的测量面朝下放置在载物台上即可进行测量，约1秒即可测量出膜厚和折射率。
日本filmetrics板厚测量系统F3-sX 可以高精度测量硅基板和玻璃基板的厚度。 通过安装最初开发的具有高波长分辨率的光谱仪，可以测量高达 3 mm 的厚膜。
日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT F10-RT 是一款集成了测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统。可同时测量反射率和透射率，并可轻松分析膜厚、折射率和消光系数。 只需一根 USB 线和电源线即可轻松连接，无需调整光学系统，无需复杂的设置，而且设置非常简单。
