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氦气泄漏测试原理及测量方法

发布时间：2022-01-07　点击量：6027

氦气泄漏测试原理及测量方法

在氦气泄漏测试中，检测对象充满氦气，泄漏的气体通过质谱仪，只检测氦气以确定有无泄漏。

示踪气体
氦气用作待填充在检查对象中的气体。浓度范围可以从 100% 到稀释。此外，由于氦气价格昂贵，因此可以回收和使用。
检测原理
泄漏的氦气被分析器管离子室中灯丝发出的电子束电离。该离子被加速并从狭缝中弹出。当通过施加在分析单元上的磁场时，由于质量的不同，它绘制出不同的圆形轨道。通过用收集器仅收集氦离子来检测氦。
【图解】氦气泄漏测试原理
适用产物

Belger 方法常用于氦气泄漏测试。在贝尔格方法中，工件内部被减压，然后充满氦气，这样从大气中泄漏的气体不会被稀释。检测器吸入腔室内部，检测并判断泄漏的氦气。排气后，工作中的氦气用氮气净化。