小型贵金属溅射镀膜机厂颁-701惭办滨滨介绍
DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。
一种小型溅射装置，可让您轻松轻松地制作电极薄膜。
标准配备间歇溅射功能
使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。
将电极膜粘贴到各种设备上
用于反射薄膜生产等。
| 阴极 | φ2英寸/扁平电极 |
| 溅射靶材 | 单独出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| 气体导入机构 | 针阀 |
| 间歇功能 | 标准设备 |
| 真空泵 | 直连旋转泵：20濒/尘颈苍（带自动泄漏） |
| 腔室尺寸 | 内径 φ90mm x D90mm（SUS材质） |
| 样品交换方式 | 前门开闭方式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/326/286mm RP：300/160/200mm |
| 重量 | 本体：10kg RP：9kg |
