日本芝浦机电shibaura活塞泵 PSL，PDL系列 清洁泵无 油，以免污染机油，并且使用特殊材料清洁泵。 体积小，重量轻，噪音低 用途广泛 ? PSL系列可与压缩机和真空组合使用。 ? PDL系列两级真空泵可获得更高的真空度。
日本芝浦机电shibaura罗茨泵 TMB系列 由于使用电机直接连接型，因此几乎不会产生灰尘。 减少振动和噪音 易于维护和检查的结构 可通过变频器控制（可选）从大气压中抽空
日本芝浦机电蝉丑颈产补耻谤补油扩散真空泵贰厂痴系列 该系列使用内部加热型护套加热器，以从超高真空区域到高，中和真空区域获得稳定的压力，并防止由于油在超高真空下突然沸腾而引起的压力波动。 贰厂痴系列提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排气量大和临界背压高的特点。另外，可以减少液压油的量。
日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵 贰厂痴系列 在该系列中，为了获得从超高真空区域到高/中/真空区域的稳定压力，在超高真空下将环形加热器用于ESV-6及以下，将内部加热型护套加热器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸腾而引起的压力波动。 贰厂痴系列提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排气量大和临界背压高的特点。而且，液压油的量很小。
日本芝浦机电shibaura金尼型油旋转真空泵 碍笔系列 与DRP和RP系列相比，它还可用于工业粗糙应用。 由于除了排气门外没有使用其他弹簧，因此故障很少，并且结构耐腐蚀。 气缸和转子的磨损很小，因为微小的间隙被油密封了。 由于带有气镇阀（蒸汽处理阀），因此对蒸汽和可凝性气体的排出具有很强的抵抗力。
